半导体FPD等领域
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热处理成膜设备用轴承
热处理成膜设备采用的是在高温环境下也可进行润滑的特殊规格的轴承。
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EB电子束曝光设备用轴承
由于 EB 电子束曝光设备使用的轴承在强磁场环境下工作,因此采用的是非磁性材质的陶瓷轴承。
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溅镀设备用轴承
溅射设备的高温、真空室内采用的是高温 Clean Pro 规格的轴承。
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检测设备用轴承
检测设备用轴承采用的是对检查不造成影响的非磁性轴承。
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晶片运送设备用轴承
晶片搬运专用设备追求要具备煤尘产生量低、使用的期限长的特征。
为需要满足该主要用途,该提升装置分为的是与 Clean Pro 尺寸的搭配式淘瓷美导轨,包括簿壁式 K yobo体育
的深沟球型搭配式淘瓷滑动轴承。
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